阿爾卡特ADS1202真空泵維修

阿爾卡特ADS1202H真空泵維修，ALCATEL ADS1202真空泵維修


Adixen ADP/ADS系列2產品的四種型號可滿足不同真空要求，環境清潔的工藝應用可選擇LM型，輕型或中型應用要求可選擇P型，H型可供苛刻要求的工藝環境選擇。許多來自半導體工業的主要制造商已經選擇這一產品，這一選擇使他們大大縮短了計劃外停工期，從而節約了運行成本，提高了利潤率。
ADS1202真空泵特點：
ADS1202處理能力可靠性高
寬交叉槽可容納大量粉塵和顆粒
**而閉合的溫控系統、高操作溫度以及從進口到出口的氣體溫度的線性增長
各級采取立式抽吸防止吹掃腔中粉塵聚集
ADS 1202H主要應用于半導體制造

小巧：ADP/ADS系列2只有約390 mm寬
潔凈：阿爾卡特真空泵無摩擦無須油潤滑，也就無粉塵污染的風險。
安靜：阿爾卡特真空泵所有型號均含一臺靜音裝置，無須再安裝外部消聲裝置。
兼容半導體S2

價廉物美
工作壓強以及極限壓強下低能耗
ADP/ADS系列2運行溫低，用水量非常小。
用戶可輕松設定氮凈化水平，應用于清潔環境無須凈化。

典型應用工藝：
ADP 122 LM, ADS 602 LM
真空進片室，傳送室，物**相沉淀，鍍膜
ADP 122 P, ADS 602 P, ADS 1202 P, ADS 1802 P
灰化，玻璃拆封，電介質，線蝕刻，注入源，介質化學氣相沉淀
ADS 602 H, ADS 1202 H, ADS 1802 H
等離子增強化學氣相淀積，低壓化學氣相沉淀